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Soitec与ASM International合作研发应变绝缘硅 (2003.07.25)
Soitec与ASM International N.V.宣布在应变绝缘硅(sSOI)的合作计划上达成一项重要的里程碑,此项合作计划成功在65奈米环境试产第一代应变硅晶圆。Soitec与ASM自今年5月起开始合作,此项计划目前着重于微调sSOI制程以达基板效能优化,提高生产力及成本效率,进而加快完全商业化8吋应变SOI晶圆及最终12吋晶圆产品的上市时程


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