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CTIMES / 光阻製程平台
科技
典故
第一颗晶体管(Transistor)的由来

第二次世界大战末期,贝尔实验室开始一项研究计划,目标是研发出一种体积更小、功能更强大、更快速且可靠的装置来取代真空管。1947年12月23日,由贝尔实验室研发的晶体管取代了真空管,优点是体积更小、更可靠、且成本低廉,不仅孕育了今日遍及全球的电子半导体产业,同时也促成电讯计算机业、医学、太空探测等领域产生戏剧性的改变。
EV Group推出次世代200毫米EVG150光阻制程平台 (2022.11.10)
晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)宣布,发表次世代200毫米版本的EVG150自动化光阻制程系统,扩大光学微影领域的优势。重新设计的EVG150平台包括先进功能与强化项目,与前一代平台相比,可提供高出80%的制程产出、通用性,以及减少近50%的设备占地面积

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