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盛美上海进军涂胶显影Track市场 满足积体电路制造商光刻制程需求 (2022.12.21) 盛美上海推出涂胶显影Track设备,标志着该公司已正式进军涂胶显影Track市场,这也是该公司提升其在清洗、涂胶和显影领域内专业技术的必然结果。盛美上海于2013年开发了首个封装涂胶机和显影机,并於2014年交付了给客户 |
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盛美上海为Ultra C pr设备新添金属剥离制程 (2022.11.24) 盛美半导体设备(上海)股份有限公司宣布其为Ultra C pr设备拓展了金属剥离(MLO)应用,以支援功率半导体制造和晶圆级封装(WLP)应用。MLO制程是一种形成晶圆表面图案的方法,省去了蚀刻制程步骤,可降低成本,缩短制程流程,并减少高温化学品用量 |
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盛美上海推出新型Post-CMP清洗设备 提供具成本效益解决方案 (2022.07.19) 盛美半导体设备(上海)股份有限公司,今日推出新型化学机械研磨後(Post-CMP)清洗设备。这是盛美上海的第一款Post-CMP清洗设备,用於制造高品质衬底化学机械研磨(CMP)制程之後的清洗 |
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盛美上海18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备投入量产 (2022.04.22) 盛美半导体设备(上海)股份有限公司,作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装(WLP)应用提供晶圆制程解决方案的领先供应商,今日宣布,其18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备已成功投入量产 |
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盛美上海推出ULD技术 槽式湿法清洗设备获批量采购订单 (2022.02.15) 盛美半导体设备(上海)股份有限公司,宣布已接到29台Ultra C wb槽式湿法清洗设备的批量采购订单,该设备可应用於加工300mm晶圆,其中16台设备的重复订单来自同一家中国国内代工厂,重复订单的目的是支援该工厂的扩产 |