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EV GROUP将革命性薄膜转移技术投入量产 (2023.12.12) EV Group(EVG)宣布推出EVG 850 NanoCleave薄膜剥离系统,这是首款采用EVG革命性NanoCleave技术的产品平台。EVG850 NanoCleave系统使用红外线(IR)雷射搭配特殊的无机物材质,在透过实际验证且可供量产(HVM)的平台上,以奈米精度让已完成键合、沉积或增长的薄膜从矽载具基板释放 |
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EV Group推出次世代200毫米EVG150光阻制程平台 (2022.11.10) 晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)宣布,发表次世代200毫米版本的EVG150自动化光阻制程系统,扩大光学微影领域的优势。重新设计的EVG150平台包括先进功能与强化项目,与前一代平台相比,可提供高出80%的制程产出、通用性,以及减少近50%的设备占地面积 |
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EVG推出NanoCleave薄膜释放技术 使先进封装促成3D堆叠 (2022.09.13) EV Group(EVG)今日宣布推出NanoCleave技术,这是一种供矽晶圆使用的革命性薄膜释放技术,此技术使得先进逻辑、记忆体与功率元件的制作及半导体先进封装的前段处理制程,能使用超薄的薄膜堆叠 |
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EVG携手工研院扩大先进异质整合制程开发 迈向供应链在地化 (2022.08.31) 微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备之领导厂商EV Group(EVG),今日宣布携手工业技术研究院(以下简称工研院)扩大先进异质整合制程的开发 |
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EV GROUP成功展示100%转移良率 取得D2W接合大突破 (2022.07.27) 微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备领导厂商EV Group(EVG),今日宣布藉由使用EVG的GEMINI FB自动化混合接合系统,已可一次性转移多颗不同大小来自3D系统单晶片(SoC)的晶粒,并成功展示100%无缺陷的接合良率,取得晶粒到晶圆(D2W)熔融与混合接合的重大突破 |
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EV GROUP推出全新多功能微米及奈米压印解决方案 (2022.01.19) 晶圆接合暨微影技术设备供应商EV Group(EVG),今日推出EVG7300自动化SmartNIL奈米压印与晶圆级光学系统。EVG7300是EVG最先进的解决方案,可在单一平台上结合如奈米压印微影技术(NIL)、透镜压铸与透镜堆叠(UV接合)等多重基於UV架构的制程 |
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EV GROUP为3D异质整合导入高速与高精度检测 (2021.11.17) 随着传统的2D矽晶圆微缩已达到成本上限,半导体产业正转向异质整合,将具有不同特征尺寸与材质的多个元件或晶粒,制造、组装及封装到单一晶片或封装里,借以提升新世代设备的效能 |
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应用材料加速半导体产业实现异质整合技术蓝图 (2021.09.13) 应用材料发布新技术与能力,帮助客户加速实现异质晶片设计与整合的技术蓝图。应用材料结合先进封装与大面积基板技术,与产业合作伙伴携手开发新解决方案,大幅改善晶片功率、效能、单位面积成本与上市时间(PPACt) |
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EV Group步进重复奈米压印微影系统突破生产微缩化 (2021.06.10) 相较于昔日步进重复奈米压印微影(NIL)的进一步开发与生产微缩化的需求,常被受限于较大面积上精准母模的可用性。晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)推出次世代步进重复NIL系统EVG770 NT |
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[SEMICON Taiwan]EVG LITHOSCALE无光罩曝光机可实现量产化目标 (2020.09.23) LITHOSCALE?合EVG的MLE(无光罩曝光)技术,将数位化曝光的优势带入了广泛的光刻应用和市场之中
晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)在9月23日至25日於台北南港展览馆1馆举行的SEMICON Taiwan发表全新LITHOSCALE无光罩曝光系统,这是第一个采用EVG革命性的MLE(无光罩曝光)技术的产品 |
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EV GROUP全新五号无尘室完工 实现产能倍增 (2020.07.22) 晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)今天宣布已在奥地利的企业总部,完成兴建全新五号无尘室大楼。全新的大楼从头到尾采用最新无尘室设计与建筑技术,并让EVG总部的无尘室产能几??增加一倍,未来将用於开发产品与制程的展示设备、开发原型机和试量产的服务 |
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EVG成立异质整合技术中心 加速新产品开发 (2020.03.03) 晶圆接合暨微影技术设备厂商EV Group(EVG),今天宣布异质整合技术中心已建立完成,旨在协助客户透过EVG的制程解决方案与专业技术,以及在系统整合与封装技术的精进下,打造全新且更强劲的产品与应用,包含高效能运算与资料中心、物联网(IoT)、自驾车、医疗与穿戴装置、光子及先进感测器所需的解决方案与应用 |
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EV GROUP与INKRON合作开发高折射率材料和奈米压印微影制程技术 (2020.02.17) 微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备之领导厂商EV Group(EVG)今(17)天宣布和致力於高低折射率涂层材料的制造商Inkron的合作夥伴关系 |
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AR领导者强强联手 肖特与合作夥伴於2020美西光电展发布下一代波导片 (2020.02.03) 扩增实境(AR)领域的杰出公司强强联合,携手加快消费级AR穿戴设备的开发进程。肖特集团,Inkron公司,EV集团(EVG)和光波导元件厂商波光(WaveOptics)在2020美国西部光电展上展示了全球首个在玻璃基板上制成的折射率为1.9、结合纳米树脂结构的波导片 |
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EVG:人工智慧将带动各种异质系统的整合需求 (2019.10.02) 异质整合已成为我们产业的关键议题。进一步微缩元件节点是改善元件效能的必要手段,然而开发与投产新设计的成本也越来越昂贵。此外,在系统单晶片(SoC)上对个别建构模块(building block)进行微缩时,所产生的影响差异甚大 |
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EV GROUP全新无光罩曝光技术掀起微影制程革命 (2019.09.10) 微机电系统(MEMS)、奈米科技与半导体市场的晶圆接合暨微影技术设备之领导厂商EV Group(EVG)今日发表具革命性的次世代微影MLE(Maskless Exposure)技术,能满足先进封装、微机电系统、生物医学及高密度印刷电路板(PCB)等应用在未来後段微影制程的各种需求 |
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EVG突破半导体先进封装光罩对准曝光机精准度 (2017.03.13) 微机电系统(MEMS)、奈米科技、半导体晶圆接合暨微影技术设备厂商EV Group (EVG)推出IQ Aligner NT,为量产型先进封装应用提供先进的自动化光罩对准曝光系统。全新IQ Aligner NT内含高强度及高均匀度曝光元件、新型晶圆处理硬体、支援全域多点对准的8吋(200mm)和12吋(300mm)晶圆覆盖以及最佳化的工具软体 |
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EV Group推出HERCULES NIL Track System加速奈米压印微影技术导入高量产阶段 (2015.09.11) 完全整合的UV奈米压印微影(UV-NIL) Track System结合EVG微影与光阻制程专长;应用领域涵盖光子、微机电和奈米机电元件等
微机电、奈米技术、半导体晶圆接合暨微影技术设备商EV Group(EVG)推出HERCULES NIL奈米压印微影整合系统(track system) |
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先进封装及3D-IC市场驱动EVG全自动12吋晶圆接合系统高速成长 (2015.09.01) 微机电(MEMS)、奈米技术、半导体晶圆接合暨微影技术设备厂商EV Group(EVG)宣布该公司的全自动12吋(300mm)使用聚合物黏着剂的晶圆接合系统目前市场的需求非常强烈,在过去12个月以来 |
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3D IC应用市场核心技术TSV的概况与未来 (2009.08.31) 3D IC是否可以成为应用主流,矽通孔(Through Silicon Vias;TSV)技术是一个关键。 TSV制程的成熟,将会主导3维晶片的应用市场,未来可以用来整合IC、逻辑晶片、RF、CMOS影像感应器与微机电系统 |