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討論活動主題﹕原子層沉積技術應用實務

活動 提要
本課程針對工業領域探討「原子層沉積技術」的應用結合，包含半導體製程、光電元件、OLED領域、太陽能電池，其具備原子級薄膜厚度控制和高階梯覆蓋率等優點，可有效解決半導體奈米製程問題，同時可使用於MEMS和奈米粒子等複雜結構所需要的均勻薄膜覆蓋沉積。

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