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Crossing Automation推出優化真空晶圓搬運系統 (2009.02.02) Crossing Automation公司推出ExpressConnect,一個為真空晶圓搬運系統所提供的自動化部件模組產品系列。其中性方式(neutral approach)的結構取代了大部分集束型設備常見的傳統集中化晶圓搬運設計,並且可減少20-70%的所佔空間,具有更高的彈性、更低的成本、更高的生產力和吞吐量高達每小時250片晶圓 |
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