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為市場提供精確的高劑量離子植入設備 (2006.10.31) 亞舍立科技(Axcelis Technologies)供應先進半導體製程設備,包括離子植入(Ion Implant)、快速熱處理(RTP)、清洗(Cleaning)與固化(Curing)等設備。其業務涵蓋全球前20大的晶片製造商,並與日本住友重工SHI合資(50%-50%)設立日本SEN Corporation以服務日本市場 |
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為市場提供精確的高劑量離子植入設備 (2006.10.30) 亞舍立科技(Axcelis Technologies)供應先進半導體製程設備,包括離子植入(Ion Implant)、快速熱處理(RTP)、清洗(Cleaning)與固化(Curing)等設備。其業務涵蓋全球前20大的晶片製造商,並與日本住友重工SHI合資(50%-50%)設立日本SEN Corporation以服務日本市場 |
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