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Qcept非光學可視性缺陷檢測系統獲Soitec使用 (2008.12.24) 半導體製造業新型晶圓檢測系統開發商Qcept(Qcept Technologies Inc.)宣布絕緣層上覆矽(SOI)與其他工程基板的供應商Soitec公司,將採用其ChemetriQ 3000非光學可視性缺陷(NVD)檢測系統 |
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Qcept提供晶圓快速線上非光學可視性缺陷偵測 (2008.06.13) Qcept的ChemetriQ 3000提供整片晶圓的快速線上非光學可視性缺陷(NVDs)偵測,包括了有機、無機、金屬污染、製程導致的電荷、水漬或其他的非光學可視性缺陷。NVDs無法以光學檢測系統探測,在尖端晶圓廠中,佔了所有缺陷的30% |
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