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TrendForce：中芯面臨美國出口限制 中國半導體產業恐面臨衝擊 (2020.10.04)
中芯國際今(4)日發布正式公告，針對美國商務部向其供應商發出信函，對於向中芯出口的部分美國設備、配件及原物料會受到美國出口管制規定進行說明。TrendForce 旗下半導體研究處指出
中微發佈第一代電感耦合等離子體蝕刻設備 提升7和5奈米產能 (2018.03.13)
中微半導體設備有限公司在本周舉辦的SEMICON China期間正式發佈了第一代電感耦合等離子體蝕刻設備Primo nanova，用於大批量生產儲存晶片和邏輯晶片的前道工序。該設備採用了中微專利的電感耦合等離子體蝕刻技術，將為7奈米、5奈米及更先進的半導體元件蝕刻應用提更好的製程加工能力，和更低的生產成本
中微半導體強調將正面迎戰科林所提的專利訴訟 (2009.01.16)
美通社消息報導，新加坡商中微半導體設備週五（1/16）宣布，中微已充分準備並有絕對信心，對於美商科林研發所發動的法律行動正面迎戰。 科林是在2008年12月19日對中微型號「Primo D-RIE」的電漿蝕刻設備，向台灣智慧財產法院聲請並執行民事證據保全程序


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