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KLA-Tencor推出新一代光罩缺陷檢測平臺 (2009.09.16)
KLA-Tencor公司宣佈推出了Teron 600系列光罩缺陷檢測系統。全新的 Teron 600平臺中加入了可編程掃描機曝光功能，並且靈敏度和模擬光刻計算功能上與當前行業標準平台TeraScanTMXR相比，有明顯改進，為2Xnm邏輯（3Xnm HP記憶體）節點下的光罩設計帶來了一次重大轉型


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