課程介紹

本課程將介紹真空鍍膜設備之各種真空零組件，如真空邦浦、真空法蘭、管接頭、真空閥門、氣體閥、真空計等，以及其相關應用，讓學員了解真空鍍膜設備之各種真空零組件及其應用，增進職場真空技能知識。

同時介紹ALD設備沉積原理與其在OLED封裝製程上之應用，透過ALD設備技術的了解，可以使學員瞭解OLED阻水阻氣關鍵製程之應用。

講師介紹

陳工程師---工業技術研究院機械所

王副組長---工業技術研究院機械與系統研究所 副組長

其他內容

06/21一 AMOLED關鍵設備與製程技術開發

07/05二 高效率(橘或黃光)OLED元件結構設計、量測與實作（清華大學實驗室實作）

07/19三 超低色溫OLED元件產業應用、量測與實作（清華大學實驗室實作）

08/02四 OLED材料及蒸鍍技術應用發展與趨勢

08/16 五 OLED元件與量測分析實作（工研院實驗室實作）

08/30六 真空鍍膜設備之真空零組件及原子層沉積技術於光電元件之應用