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討論研討會主題﹕新興半導體元件與製程特性測試論壇

研討會 提要
今日的半導體材料、元件與製程技術日新月異，開發者必須充分掌握其技術特性，才能夠充分發揮材料、元件與製程的優勢，完成最佳化、高性能的產品設計。所謂「工欲善其事，必先利其器」，想要掌握這些特性，必須善用先進的半導體特徵分析工具。 新一代的半導體材料、元件與製程技術需要做到精準的DC I-V、AC阻抗和超高速或暫態I-V量測，這對於測試工作來說是很大的挑戰。此外，對於奈米CMOS製程及新型態非揮發性記憶體等先進半導體產品開發來說，在測試上要求更廣的動態量測範圍、更高的靈敏度，以及更高的可靠性測試能力。 為了協助國內半導體工作者及研究人士順利進行新興半導體材料、元件與製程的開發工作

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