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KLA-Tencor與Carl Zeiss SMT 合作開發光罩量測技術 (2003.11.17)
KLA-Tencor與Carl Zeiss SMT 旗下的Carl Zeiss Microelectronic Systems日前宣佈策略結盟,將協助半導體產業針對90奈米及其以下的環境降低光罩成本並縮短產品上市時程;雙方的合作將為顧客提供最完善且更具經濟效益的解決方案,讓顧客能偵測、檢驗、以及處理各種先進光罩上的缺陷


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