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田中貴金屬確立液體釕前驅物2段成膜製程 助10nm以下微縮 (2022.06.24)
田中貴金屬工業株式會社宣布，確立液體釕（Ru）前驅物「TRuST」的2段成膜製程。「TRuST」是前驅物，對氧和氫兩者具備良好的反應性，能夠形成高純度的釕膜。本製程是一種2段ALD成膜製程（ALD＝Atomic Layer Deposition），先利用氫成膜形成較薄的防氧化膜，再以氧成膜實現高品質的釕膜 |
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新世代觸控面板透明導電膜技術論壇 (2011.05.12)
觸控面板的應用愈來愈普及，ITO透明導電玻璃及薄膜的重要性也跟著水漲船高。ITO是以錫嵌入氧化銦(Tin-doped Indium Oxide)製成，其重要原料銦產量稀少，價格隨市場需求增大而日漸升高；在製造上由於需在真空環境下用濺鍍法(Sputtering)來製作，導致生產設備昂貴 |
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