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諾發系統推出晶圓級封裝系列產品 (2010.09.14) 諾發系統近日宣布,推出VECTOR PECVD, INOVA PVD和GxT photoresist strip systems的新機型,這些新機型可以和諾發系統的先進金屬連線技術相輔相成,並且展開晶圓級封裝技術(WLP)的需求及市場 |
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諾發系統宣告售出第1000台化學氣相沉積系統 (2010.02.28) 諾發系統日前宣佈,已賣出第1000台化學氣相沉積系統給新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7, GLOBALFOUNDRIES為半導體製造技術之供應者,近期並與Chartered Semiconductor Manufacturing進行整合,Fab 7亦會將12吋VECTOR Express應用於65奈米及更先進技術的大量生產 |
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諾發系統啟用新型超紫外線熱力學製程系統 (2010.02.03) 諾發系統(Novellus)於日前宣布,已導入超紫外線熱力學製程系統 SOLA xT,將其應用在先進的45奈米以下的邏輯元件生產,其利用超紫外線的照射來改善前一道製程鍍上的薄膜特性,這一新系統可監控紫外線強度及提供客製化的波長光線組合,因此可將系統延用到多世代 |
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諾發SPEED MAX系統擴展應用到32奈米技術 (2009.10.22) 諾發系統宣布開發出一種製造工藝來延伸公司的SPEED MAX系統在隔離淺溝槽(STI)充填沉積應用到32奈米技術節點。這種新工藝技術利用SPEED MAX高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)的平台發揮動態配置控制(DPC)的功能效果 |
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諾發32奈米介電質技術可解決RC遲滯問題 (2009.04.02) 為了使積體電路元件的性能跟上摩斯定律(Moore’s Law),積體電路設計人員在驅策技術節點縮小化時必需減緩RC遲滯效應。為達到元件縮小所帶來的應有的積效進而增加45奈米以下導線間的空間縮小所帶來的挑戰 |
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多孔性低介電常數材料的非損害性清洗製程 (2004.12.04) 本文所探討的晶圓表面處理技術,將介紹如何在批次型噴霧清洗設備的協助下,利用飽和臭氧含量的去離子水來處理化學氣相沉積的有機矽玻璃低介電常數薄膜,並且分析所得到的光阻去除結果;這項製程不會導致低介電常數性質或微距的改變,此外也證明利用腐蝕抑制劑,就能降低臭氧製程對銅腐蝕效應 |
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全球奈米電子技術現況與趨勢探討 (2004.08.04) 為成為下一世代的市場贏家,奈米級先進製程已經成為全球各大半導體產商積極投入之研究領域,而隨著製程不斷朝向65奈米、45奈米及32奈米以下尺寸推進,所面臨的技術挑戰也更加艱難 |
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分析師:半導體設備業景氣正翻身 (2001.02.18) 根據最新公佈的應用材料公司2001年第一季財務報告指出,雖然頗令分析師意外,第一季每股盈餘高出甚多,但是毛利則呈現向下滑落情形。另外,根據應用材料表示,該公司第二季營收恐將下滑26~30百分點,因此市場分析師根據此狀況提出看法,認為半導體設備公司景氣谷底即將來臨,這意謂著投資人此時可以準備進場購買半導體設備股 |
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晶片製造設備市場明年景氣不佳 (2000.12.08) 英特爾(Intel)於日前提出了其第四季營收下滑的警訊之後,不少的晶片設備製造商受到了打擊。英特爾緩慢的銷售警訊對Applied Materials、Novellus System及其他的半導體製造設備廠商而言,是一個壞消息 |