相關物件共 2 筆
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KLA-Tencor全新控片檢測系統提升晶片生產開發 (2008.09.08)
KLA-Tencor公司推出專為IC市場設計的全新控片檢測系統Surfscan SP2XP，這套新的系統是去年KLA-Tencor針對晶圓製造市場推出的同名工具。全新的Surfscan SP2XP對於矽、多晶矽和金屬薄膜缺陷具備更高的靈敏度，相較於前一代產品Surfscan SP2，Surfscan SP2XP加強了依據缺陷類型及大小分類的能力，並配備真空搬運裝置和業界最佳的生產能力 |
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KLA-Tencor將檢測工具擴展至量測領域 (2007.07.13)
KLA-Tencor推出SURFmonitor組件，它使得Surfscan SP2非圖樣表面檢測系統突破了傳統的缺陷檢測藩籬，也具備監控製程變化與趨勢的能力。SURFmonitor系統的設計目的是測量晶片或平薄膜表面形態的變化，而它們與大量的製程參數(例如表面粗糙系度統、的粒設狀計大小與溫度)息息相關 |
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