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聯電將進軍薄膜太陽能電池市場 (2007.03.29)
聯電與日本真空技術集團(Ulvac)共同宣布,聯電未來將採用日真的薄膜技術,進軍太陽能電池市場,透過轉投資的晶能科技,預估今年將斥資20億元於太陽能電池的製造,初期年產能約12.5百萬瓦,並在三年內提升年產能至100百萬瓦
美日半導體商加重對台投資 (2002.04.17)
包括美商台灣應材及日本真空技術科技等十三家廠商,均已經或計畫來台投資,預期總投資額將超過100億元。經濟部工業局指出,台灣將以現有優勢,切入全球中低階IC產品製造重心,藉開放半導體產業登陸,延伸服務範圍
光學真空鍍膜設備亮相 (2001.09.07)
台中精機廠公司多角化跨入發光二極體及半導體製程設備用真空鍍膜設備領域研發後,現又進一步完成首台國產光學鏡頭、數位相機、投影機等光學真空鍍膜設備。 台中精機指出


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