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Soitec與SEZ合作加速應變絕緣矽基板的商業化時程 (2005.10.18)
Soitec Group與SEZ Group日前宣佈,雙方已著手計畫推動聯合開發計畫(JDP),藉以加快新一代應變絕緣矽(sSOI)基板的商業化時程。在聯合開發計畫中,兩家公司將運用Soitec在工程基板的技術,以及SEZ在單晶圓、溼式處理技術之領先優勢,開發新型溼式蝕刻製程,提高在sSOI製程中去除鍺元素的作業效率


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