|
SEZ發表全新單晶圓FEOL光阻去除解決方案 (2006.07.20) 半導體產業單晶圓溼式清洗解決方案的領導設備供應商SEZ Group,20日宣布其已發展出可簡化前段製程(FEOL)光阻去除程序之全新化學製程。SEZ專利的Enhanced Sulfuric Acid(ESA)去除製程使用一系列以硫酸為主要成分的化學製劑 |
|
SEZ接獲晶圓製造商訂購Da Vinci的多機台訂單 (2006.06.26) 半導體產業單晶圓溼式清洗解決方案的設備供應商SEZ Group宣布其已接獲來自晶圓製造商訂購超過12台Da Vinci平台的多機台訂單。這些來自既有與新興的先進晶圓代工廠商客戶之訂單,繼先前韓國的訂購之後,進一步提昇了SEZ在亞太地區發展的潛能 |
|
SEZ DV-38F系統獲台灣晶圓代工廠商採用 (2003.11.06) 半導體產業單晶圓洗淨技術業者SEZ Group日前宣佈該公司最新發表的DV-38F系統已獲得台灣某晶圓代工廠商的採用。DV-38F單晶圓溼式洗淨旋轉處理工具,是第一套運用SEZ創新Da Vinci平台的產品─一套能滿足90奈米及其以下設計規格的新一代元件之生產需求,提供穩定的處理效能與高產量的模組化多重反應爐架構 |
|
半導體設備暨材料展廠商巡禮 (2003.10.05) 在9月15~17日於台北舉辦的2003年台灣半導體設備暨材料展,主題是半導體製造設備與材料,在經歷前兩年的低迷景氣與SARS的風暴後,半導體產業確定邁上復甦道路,另外在技術製程的進展方面 |