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疊層太陽能電池沉積採用熱絲化學氣相沉積-疊層太陽能電池沉積採用熱絲化學氣相沉積 (2011.07.15)
疊層太陽能電池沉積採用熱絲化學氣相沉積 |
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晶圓尺度上是均勻雙層石墨薄膜的化學氣相沉積-晶圓尺度上是均勻雙層石墨薄膜的化學氣相沉積 (2011.05.05)
晶圓尺度上是均勻雙層石墨薄膜的化學氣相沉積 |
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非晶矽太陽能電池得到了熱絲化學氣相沉積-非晶矽太陽能電池得到了熱絲化學氣相沉積 (2010.12.03)
非晶矽太陽能電池得到了熱絲化學氣相沉積 |
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諾發SPEED MAX系統擴展應用到32奈米技術 (2009.10.22)
諾發系統宣布開發出一種製造工藝來延伸公司的SPEED MAX系統在隔離淺溝槽（STI）充填沉積應用到32奈米技術節點。這種新工藝技術利用SPEED MAX高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD）的平台發揮動態配置控制(DPC)的功能效果 |
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CVD前趨物與磷光OLED材料評估培訓班 (2006.12.11)
半導體元件晶圓代工與液晶面板製造是國內高科技產業的兩大支柱，前景持續看好。為提升競爭力，積極投入新製程的材料開發，例如：CVD金屬前趨物與OLED磷光材料，乃是不容忽視的發展趨勢 |
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CVD前趨物與磷光OLED材料評估培訓班 (2006.10.25)
半導體元件晶圓代工與液晶面板製造是國內高科技產業的兩大支柱，前景持續看好。為提升競爭力，積極投入新製程的材料開發，例如：CVD金屬前趨物與OLED磷光材料，乃是不容忽視的發展趨勢 |
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原子層沉積技術於45奈米世代將成主流 (2006.10.13)
專注於高溫熱製程處理系統及原子層沉積系統的半導體設備廠商Aviza，已經完成整併另一廠商Trikon，在半導體前後段製程技術領域，可以提供更完整的產品線，同時隨著DRAM與Flash等記憶體產品市場規模的提升，將進一步擴大產品的出貨量，尤其是在日漸成為全球製造中心的亞太地區市場 |
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共生、互利、永續 (2005.03.05)
從18世紀工業革命開始，人們生活的便利性因此而向前邁進了一大步，但是卻也因為工業產品運作的需要，環境逐漸遭到破壞，在人們的生存環境當中，很少是獨立而封閉的，以全球化的觀點來說，所有人都是生命共同體，一起生活在地球上，以「蝴蝶效應」來說明這樣的關係就再清楚不過了 |
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我LED產能每年以二倍速度成長 (2004.10.20)
全球最大的LED設備商愛思強（Aixtron）表示，台灣LED產量已是全球最大，約佔全球的四成。而國內廠商擴產動作仍十分積極，平均每年產能擴充成長二倍，可說是全球獨有的現象，他們稱此現象為「台灣定律（Taiwan's Law）」 |
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TFT LCD設備商AKT在台成立亞太研發中心 (2004.07.21)
半導體設備大廠美商應用材料（Applied Materials）旗下子公司業凱（AKT），斥資6.7億元在台灣成立的亞太研發中心日前正式揭幕，該公司未來可協助台灣面板廠開發新製程技術並降低生產成本，同時可以培養台灣本地的面板設備零組件產業 |
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德州儀器宣布採用Novellus SPEED氟玻璃（FSG）薄膜 (2002.02.26)
全球半導體薄膜沉積和表面處理技術的生產研發廠商-諾發系統，日前宣佈德州儀器（TI）將在其 300 mm （12吋）晶圓的銅製程雙層嵌入應用中，採用Novellus的SPEED 氟玻璃（FSG） 薄膜 |
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應用材料取得兩項低介電技術專利授權 (2001.11.28)
應用材料公司宣佈取得美國專利商標局第6,287,990號與第6,303,523兩項專利授權，範圍涵蓋運用於介質化學氣相沉積薄膜技術的先進低介電材料，將可增加下一世代晶片的速度及工作效能 |
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應用材料推出Ultima X HDP-CVD設備 (2001.06.07)
應用材料公司Ultima高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD:High Density Plasma - Chemical Vapor Deposition）家族再添新成員。新推出的Ultima X設備將提供下一世代元件所須的隙縫填補能力，包括先進的淺溝隔離（STI：Shallow Trench Isolation）、金屬層間介質沉積（IMD: Inter-Metal Dielectric）和前金屬介質沉積（PMD: Pre-Metal Dielectric）等製程應用 |
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應用材料推出業界第一套化學氣相沉積TiSiN製程 (2001.03.28)
應用材料日前宣佈推出業界第一套化學氣相沉積TiSiN阻障層（barrier）製程，持續強化在銅製程技術的領導地位。運用應用材料新一代Endura Electra Cu整合式阻障層／種晶層設備平台，結合應用材料現有的自行離子化電漿（SIP：Self Ionized Plasma）物理氣相沉積銅反應室，化學氣相沉積TiSiN製程不僅支援200mm與300mm製程，並且針對下一代0 |
