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迭层太阳能电池沉积采用热丝化学气相沉积-迭层太阳能电池沉积采用热丝化学气相沉积 (2011.07.15)
迭层太阳能电池沉积采用热丝化学气相沉积 |
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晶圆尺度上是均匀双层石墨薄膜的化学气相沉积-晶圆尺度上是均匀双层石墨薄膜的化学气相沉积 (2011.05.05)
晶圆尺度上是均匀双层石墨薄膜的化学气相沉积 |
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非晶硅太阳能电池得到了热丝化学气相沉积-非晶硅太阳能电池得到了热丝化学气相沉积 (2010.12.03)
非晶硅太阳能电池得到了热丝化学气相沉积 |
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诺发SPEED MAX系统扩展应用到32奈米技术 (2009.10.22)
诺发系统宣布开发出一种制造工艺来延伸公司的SPEED MAX系统在隔离浅沟槽（STI）充填沉积应用到32奈米技术节点。这种新工艺技术利用SPEED MAX高密度电浆化学气相沉积（HDP-CVD）的平台发挥动态配置控制(DPC)的功能效果 |
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CVD前趋物与磷光OLED材料评估培训班 (2006.12.11)
半导体组件晶圆代工与液晶面板制造是国内高科技产业的两大支柱，前景持续看好。为提升竞争力，积极投入新制程的材料开发，例如：CVD金属前趋物与OLED磷光材料，乃是不容忽视的发展趋势 |
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CVD前趋物与磷光OLED材料评估培训班 (2006.10.25)
半导体组件晶圆代工与液晶面板制造是国内高科技产业的两大支柱，前景持续看好。为提升竞争力，积极投入新制程的材料开发，例如：CVD金属前趋物与OLED磷光材料，乃是不容忽视的发展趋势 |
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原子层沉积技术于45奈米世代将成主流 (2006.10.13)
专注于高温热制程处理系统及原子层沉积系统的半导体设备厂商Aviza，已经完成整并另一厂商Trikon，在半导体前后段制程技术领域，可以提供更完整的产品线，同时随着DRAM与Flash等内存产品市场规模的提升，将进一步扩大产品的出货量，尤其是在日渐成为全球制造中心的亚太地区市场 |
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共生、互利、永续 (2005.03.05)
从18世纪工业革命开始，人们生活的便利性因此而向前迈进了一大步，但是却也因为工业产品运作的需要，环境逐渐遭到破坏，在人们的生存环境当中，很少是独立而封闭的，以全球化的观点来说，所有人都是生命共同体，一起生活在地球上，以「蝴蝶效应」来说明这样的关系就再清楚不过了 |
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我LED产能每年以二倍速度成长 (2004.10.20)
全球最大的LED设备商爱思强（Aixtron）表示，台湾LED产量已是全球最大，约占全球的四成。而国内厂商扩产动作仍十分积极，平均每年产能扩充成长二倍，可说是全球独有的现象，他们称此现象为「台湾定律（Taiwan's Law）」 |
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TFT LCD设备商AKT在台成立亚太研发中心 (2004.07.21)
半导体设备大厂美商应用材料（Applied Materials）旗下子公司业凯（AKT），斥资6.7亿元在台湾成立的亚太研发中心日前正式揭幕，该公司未来可协助台湾面板厂开发新制程技术并降低生产成本，同时可以培养台湾本地的面板设备零组件产业 |
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德州仪器宣布采用Novellus SPEED氟玻璃（FSG）薄膜 (2002.02.26)
全球半导体薄膜沉积和表面处理技术的生产研发厂商-诺发系统，日前宣布德州仪器（TI）将在其 300 mm （12吋）晶圆的铜制程双层嵌入应用中，采用Novellus的SPEED 氟玻璃（FSG） 薄膜 |
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应用材料取得两项低介电技术专利授权 (2001.11.28)
应用材料公司宣布取得美国专利商标局第6,287,990号与第6,303,523两项专利授权，范围涵盖运用于介质化学气相沉积薄膜技术的先进低介电材料，将可增加下一世代芯片的速度及工作效能 |
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应用材料推出Ultima X HDP-CVD设备 (2001.06.07)
应用材料公司Ultima高密度电浆化学气相沉积（HDP-CVD:High Density Plasma - Chemical Vapor Deposition）家族再添新成员。新推出的Ultima X设备将提供下一世代组件所须的隙缝填补能力，包括先进的浅沟隔离（STI：Shallow Trench Isolation）、金属层间介质沉积（IMD: Inter-Metal Dielectric）和前金属介质沉积（PMD: Pre-Metal Dielectric）等制程应用 |
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应用材料推出业界第一套化学气相沉积TiSiN制程 (2001.03.28)
应用材料日前宣布推出业界第一套化学气相沉积TiSiN阻障层（barrier）制程，持续强化在铜制程技术的领导地位。运用应用材料新一代Endura Electra Cu整合式阻障层／种晶层设备平台，结合应用材料现有的自行离子化电浆（SIP：Self Ionized Plasma）物理气相沉积铜反应室，化学气相沉积TiSiN制程不仅支持200mm与300mm制程，并且针对下一代0 |
