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進入High-NA EUV微影時代 (2024.09.19)
比利時微電子研究中心(imec)運算技術及系統/運算系統微縮研究計畫的資深副總裁(SVP)Steven Scheer探討imec與艾司摩爾(ASML)合建的High-NA EUV微影實驗室對半導體業的重要性
Renishaw正式首發AGILITY三次元量床 引領5軸量測新未來 (2024.04.02)
適逢本屆台灣國際工具機展(TMTS 2024)聚焦在數位轉型(DX)和綠色轉型(GX)雙軸主題,量測與製程控制設備大廠Renishaw也首度正式發表其劃時代量測解決方案AGILITY 5 軸三次元量床,開啟「精於五軸、靈於量測」的嶄新未來
Renishaw強力布局TMTS 揭曉重量級量測方案 (2024.03.15)
挾帶著銳不可當的創新氣勢,全球工業工程領域的領導廠商 Renishaw 宣告,將於3月 27–31日舉行的台灣國際工具機展(TMTS 2024)中,帶來最新精密量測、製程控制及位置回饋等完整創新技術,更將揭曉重量級量測解決方案的神秘面紗
應材Sculpta圖案化解決方案 拓展埃米時代晶片製造能力 (2024.02.29)
隨著台灣晶圓代工大廠持續向外擴充版圖,並將製程推進至2nm以下,正加速驅動晶片製造廠商進入埃米時代,也越來越受惠於新材料工程和量測技術。美商應用材料公司則透過開發出越來越多採用Sculpta圖案成形應用技術,與創新的CVD圖案化薄膜、蝕刻系統和量測解決方案
Imec展示高數值孔徑EUV生態系統進展 率先導入ASML曝光機 (2024.02.26)
於本周舉行的2024年國際光學工程學會(SPIE)先進微影成形技術會議(Advanced Lithography and Patterning Conference)上,比利時微電子研究中心(imec)將呈現在極紫外光(EUV)製程、光罩和量測技術方面取得的進展,這些技術都在為實現高數值孔徑(high-NA)EUV微影應用而籌備
意法半導體碳化矽技術為致瞻提升電動汽車車載空調控制器效能 (2024.01.30)
意法半導體(STMicroelectronics;ST) 宣布與聚焦於碳化矽(SiC)半導體功率模組和先進電力電子變換系統的中國高科技公司致瞻科技合作,為其電動汽車車載空調中的壓縮機控制器提供意法半導體第三代碳化矽(SiC)MOSFET技術
國研院啟動超精密加工聯合實驗室 大昌華嘉助培育光學加工人才 (2024.01.16)
由於台灣精密光學產業發展一直在全球扮演重要角色,近年來也隨著光學系統在智慧駕駛輔助(Intelligent Drive)、虛擬實境(Virtual Reality, VR)與擴增實境(Augmented Reality, AR),甚至低軌道衛星、光通訊等應用的蓬勃發展下,迎來了另一波契機
雷射輔助切割研磨碳化矽效率 (2023.12.26)
台灣廠商還具備過去多年來於矽基半導體產業累積的基礎,且有如工研院等法人單位輔導,正積極投入建立材料開發、雷射輔助加工製程等測試驗證平台和服務,將加速產業聚落成型
以超快雷射源 打造低碳金屬加工製程 (2023.12.26)
由於雷射具有高能量密度與聚焦性質,成為目前全球引領創新低碳先進製程的重要工具,工研院南分院也自2022~2023年逐步引進德國、立陶宛超快雷射源,合作打造研發創新與打樣中心
【PCIe 5.0】性能優越的決定性關鍵—PCB材料選擇 (2023.08.28)
本文將詳細探討適用PCIe Gen5的PCB材料以及其中的重要作用,同時也將深入了解評估PCB性能的方法。
實現電動車齒輪精密加工 (2023.08.24)
因應近年來國內外製造業受到後疫時期歐、美市場高通膨與匯率因素影響,以及中國大陸經濟復甦力道不佳波及,導致如金屬加工、設備業,以及馬達、減速機齒輪等關鍵零組件發展不如預期,勢必要跨足新興產業領域,並符合淨零碳排趨勢以維持國際競爭力
「機器人智動系統優質獎ARSI」出爐 上銀科技獲雙大獎 (2023.08.24)
智動化產業正快速發展,系統整合的創新應用成為產業競爭的關鍵,經濟部工業局為了激勵產業創新,舉辦「機器人智動系統優質獎ARSI」評選出卓越的產品、技術和人才,樹立優秀學習典範,進而推動台灣在智慧自動化領域贏得先機
imec觀點:微影圖形化技術的創新與挑戰 (2023.05.15)
此篇訪談中,比利時微電子研究中心(imec)先進圖形化製程與材料研究計畫的高級研發SVP Steven Scheer以近期及長期發展的觀點,聚焦圖形化技術所面臨的研發挑戰與創新。
台大跨團域隊研發AI光學檢測系統 突破3D-IC高深寬比量測瓶頸 (2023.04.26)
國立臺灣大學機械系陳亮嘉教授,今日帶領跨域、跨國的研發團隊,在國科會發表其半導體AI光學檢測系統的研發成果。該方案運用深紫外(DUV)寬頻光源作為光學偵測,並結合AI深度學習的技術,最小量測口徑可達 0.3 微米、深寬比可達到15,量測不確定度控制在50奈米以內,超越 SEMI 2025年官方所預測之技術需求規格
康寧:透過玻璃技術 改變世界運行、學習和生活方式 (2023.04.20)
康寧公司在2023智慧顯示展覽會,展出多款智慧顯示產品和先進顯示技術的應用。同時也展示最新的車用玻璃和精密玻璃技術。展出的產品包括: ‧康寧顯示集團 (Corning Display) 設計出採用熔融成型的先進玻璃產品,實現畫面美觀、實用、和逼真的顯示裝置
igus開發線上配置FastLine 服務 七天內快速獲得射出成型自潤軸承 (2023.04.06)
igus 為汽車供應產業的開發商提供帶有線上配置器的 FastLine 服務。得益於 FastLine 服務,汽車設計師和採購獲得一個適合批量生產和耐磨損的特殊零組件的射出成型模具,無須等待長達六周,igus 將時間縮短到了七天
工具機產業迎接數位減碳新世代 (2023.03.23)
在今年台北國際工具機展(TIMTOS 2023)仍可見到各大整機、零組件廠商,競相推出數位減碳解決方案;同時搭配自動化量/感測儀器元件,提升加工效能、品質與節能,未來甚至可望掌握電動車、風電等產業翻轉契機
邁萃斯智慧磨削解決方案 滿足電動車齒輪加工需求 (2023.03.18)
面對各國競相提出禁售燃油新車時限,提升電動車需求,也讓美系大廠必須降價以搶占市場,導致上游供應商利潤不斷受壓榨,唯有提升設備加工效率來因應,此也成為台灣工具機廠商可發揮優勢
Renishaw:完整的精度解決方案 滿足製程控制需求 (2023.03.07)
Renishaw是一家專門從事高精度測量和加工控制系統的廠商。藉由2023年台北國際工具機展(TIMTOS)的機會,Renishaw以製程控制為主軸,展示了從機台校正、工件生產、到品質監控等一系列的自動化製程控制解決方案
Fractilia將隨機性誤差量測導入晶圓廠 提升EUV管控與良率 (2023.02.22)
Fractilia宣布Fractilia Automation Metrology Environment(FAME)產品組合推出最新生力軍:FAME 300。專為量產(HVM)晶圓廠製造環境所設計的FAME 300,可針對先進節點之微影圖案化誤差最大來源隨機效應(stochastics effects),提供即時測量、檢測與監控


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