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原子层沉积技术应用实务
 

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開始時間﹕ 一月二十三日(五) 09:00 結束時間﹕ 一月二十三日(五) 16:30
主办单位﹕ SumKen
活動地點﹕ 台北市南京东路三段9号11楼
联 络 人 ﹕ 联络电话﹕ (02)25364647#489
報名網頁﹕ http://www.sumken.com/tw/eventDetail.do?parameter=OH28012015
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本课程针对工业领域探讨「原子层沉积技术」的应用结合，包含半导体制程、光电组件、OLED领域、太阳能电池，其具备原子级薄膜厚度控制和高阶梯覆盖率等优点，可有效解决半导体奈米制程问题，同时可使用于MEMS和奈米粒子等复杂结构所需要的均匀薄膜覆盖沉积。

 
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