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应材CVD系统广受全球12吋晶圆厂采用 (2004.08.04) 国际半导体设备大厂应用材料宣布该公司Applied Producer化学气相沉积(CVD)系统已出货超过750套,这些客户并采用其黑钻石低介电常数(Black Diamond low dielectric)技术来进行沉积作业 |
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应用材料新式CVD技术 适用65奈米以下制程 (2004.07.29) 半导体设备大厂应用材料宣布推出应用于65奈米及以下制程的化学气相沉积(CVD)技术Producer HARP(high aspect ratio process;高纵深比填沟制程)系统;该系统技符合浅沟隔离层(Shallow Trench Isolation;STI)和前金属介质沉积(Pre-Metal Dielectric;PMD)等制程设备所需之大于7:1高纵深比的填沟技术条件 |
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应用材料取得两项低介电技术专利授权 (2001.11.28) 应用材料公司宣布取得美国专利商标局第6,287,990号与第6,303,523两项专利授权,范围涵盖运用于介质化学气相沉积薄膜技术的先进低介电材料,将可增加下一世代芯片的速度及工作效能 |
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应用材料Producer化学气相沉积制程设备销售创佳绩 (2001.05.16) 应用材料公司宣布其Producer化学气相沉积制程设备的全球销售量,已正式突破300套大关,客户涵括遍及世界各地的芯片制造商;其中并有超过100套的系统销往台湾,这也再次验证了台湾于全球市场的重要性 |
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联电12吋晶圆厂采用应用材料300mm Producer S制程设备 (2001.03.12) 应用材料公司宣布联华电子已经采购该公司Producer S 300化学气相沉积制程设备,并且安装在台南科学园区内的12吋晶圆厂。应用材料已是目前半导体业界12吋晶圆制程设备的主要供货商,这次的采购行动则进一步强化了应用材料的领导地位 |
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应用材料低k介电常数制程获得台积电选用 (2001.01.18) 应用材料公司的黑钻石(Black Diamond)化学气相沉积低k介电常数薄膜制程,已被全球最大专业晶圆制造服务的台湾集成电路公司选用,将用来支持其最先进的高效能0.13微米铜导线制程 |