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讨论新闻主题﹕EV Group推出HERCULES NIL Track System加速奈米压印微影技术导入高量产阶段

新闻 提要
完全整合的UV奈米压印微影(UV-NIL) Track System结合EVG微影与光阻制程专长；应用领域涵盖光子、微机电和奈米机电元件等 微机电、奈米技术、半导体晶圆接合暨微影技术设备商EV Group（EVG）推出HERCULES NIL奈米压印微影整合系统（track system）。这个完全整合的Track System结合晶圆清洗、光阻涂布、烘烤的前处理步骤和EVG独有的Smart NIL大面积奈米压印微影（NIL）制程在单一平台上，HERCULES NIL 系统拥有高产能与产量，并提供适用于新兴的光子元件高量产（HVM）完整的与专属的UV-NIL解决方案。 该系统可压印出从数十奈米到几微米的结构，以改变或提升表面或元件本身的光学反应，例如抗反射层（anti-reflective layer）、彩色和偏光滤光片、导光板、用于发光二极体（LED）制程的图案化蓝宝石基板(patterned sapphire substrate)等

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