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面对技术/市场微影设备发展加倍艰辛 (2002.10.29)
根据外电指出，全球微影设备市场将下降为32亿美元，出货量衰退达433台，比去年的45亿美元减少29％，出货量亦比去年的822台少了47％。事实上，有业者指出，目前微影发展不论就市场或技术来看，都面临一定的发展瓶颈－除了市值下降外，技术研发成本赤不断上升


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