光电及半导体堪称我国的「国宝产业」，其都有赖高精密度的设备、于高洁净度的环境中生产制造终端产品。台湾半导体产业从芯片设计、晶圆制造、封装测试拥有完整的供应链，目前IC设计业在全球排名第二，占有率约三成，晶圆制造的全球市占率已达七成以上，与封装测试则都是全球首屈一指。2004年全球景气复苏，在LCD TV及PDP TV销售增加带动下，平面显示器（Flat Panel Display, FPD）市场快速成长，预期面板产业未来成长将大于半导体，目前产能上已进行第七代厂的投产;发光二极管（LED）产业也逐步上扬，其中的白光LED用在照明用途上，10年后产值将超过LCD市场。从以上的简要分析，可清楚了解发展我国光电及半导体制程设备产业的脚步，实已刻不容缓。

工研院机械所执行经济部科技项目计划，巳成功发展出多项相关的制程设备及相关洁净技术，为使更多业者分享此丰硕成果，特举办此研讨会，敬邀产、官、学、研之先进共襄盛举。