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MEMS组件带动消费性电子朝向微小化、多功能发展,基于此,成本的因素更受重视,因此以CMOS MEMS技术发展成为主要趋势,CMOS MEMS可说是具有高整合度、稳定性佳及成本低的优势,综观以台湾半导体产业位居世界之冠,快速发展CMOS MEMS技术指日可待,此次技术研讨会将着重于CMOS MEMS技术的探讨,也作为许多厂商所面临课题的实际参考。 因此,工研院南分院微系统科技中心将举行「CMOS MEMS产业策略联盟&微电声产业联盟」技术研讨会,邀请到微智半导体股份有限公司-邱奕翔总经理、逢甲大学自动控制工程学系-邹庆福教授、国家实验研究院国家高速网络与计算中心-姚志民机要秘书、工研院南分院微系统中心陈振颐 博士及林靖渊 经理讲述设计与制程技术,藉由此场技术研讨会,提供对CMOS MEMS产业有兴趣之厂商及学术单位研发技术的依据。
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