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科磊针对65奈米研发与生产推出最新电子束晶圆检测系统 (2004.10.26)
KLA-Tencor发表最新一代eS31在在线电子束(e-beam)晶圆检测系统，该系统使芯片制造商能在65奈米或以下的环境中，满足各种工程分析与在生产在线监控的高灵敏度检测需求。eS31运用KLA-Tencor经过生产测试的23xx亮区检验平台以及多项软硬件改良技术，故其持有成本(CoO)比上一代电子束检测工具节省6倍


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