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CTIMES / 副總裁暨光罩與檢測部門總經理
科技
典故		 扩展性强大的网页编辑语言 - XML

XML的全名为Extensible Markup Language，意即为可扩展标记语言，是W3C所发展出来的网页撰写语言。
科磊推出新一代光罩检测系统 (2003.07.21)
美商科磊(KLA-Tencor)近日发表新一代TeraScan深紫外线(deep ultraviolet)光罩检测系统。此套系统是科磊针对次90奈米IC生产环境所设计的第一套光罩检测工具，其能提供高灵敏度，不但可检测出80奈米大小的典型瑕疵(凹入、突出以及斑点等瑕疵)及50奈米大小的线宽瑕疵

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