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CTIMES / Ahmad Khan
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确保网络稳定运作与发展的组织 - ICANN

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KLA-Tencor为Aleris薄膜量测系列增添两款新品 (2008.02.12)
KLA-Tencor公司宣布推出Aleris 8310和Aleris 8350,为Aleris薄膜量测系列增添两款新品。这两款新机台采用KLA-Tencor最新一代的宽带光谱椭圆偏光法(BBSE,Broadband Spectroscopic Ellipsometry)光学组件,让芯片制造商得以测量多层薄膜的厚度、折射率与应力,满足先进制程的薄膜度量要求
KLA-Tencor推出Aleris 8500薄膜量测机台 (2007.12.07)
KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜量测机台,此系列由Aleris 8500开始,是业界第一款同时结合多层薄膜厚度与成分量测的专业量产型机台。其他的Aleris系列机台将在未来几个月内以不同配备组合推出,以满足45奈米node或更小尺寸制程中,对于薄膜量测的性能与量产成本控制的要求

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