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讨论新闻主题﹕KLA-Tencor推出全新FlashScanTM产品线

新闻 提要
KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩检测产品线,自从1978年公司推出第一台检测系统以来,KLA-Tencor一直是图案光罩检测的主要供应商,新的FlashScan产品线宣告公司进入专用空白光罩的检验市场。 光罩??件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用於制程开发和批量生产过程中的缺陷检测,此外,光罩制造商(“掩模厂”)为了进行光罩原料检测,设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。 FlashScan系统可以检查针对光学或极紫外(EUV)微影的空白光罩。 “先进的微影技术从表徵良好的空白光罩开始。”KLA-Tencor的光罩和宽带等离子晶圆检测部总经理熊亚霖博士指出,“无缺陷的EUV光罩??件极难制造,这不仅推高了生产成本,也推延了EUV光刻可能带给下一代晶片制造的惠益

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