课程介绍

台湾LED产业结构中在生产制造部份已相当的完整，但关键材料与生产设备仍多仰赖进口，LED结构通常以MOCVD设备进行量产，但缺乏设备厂商支持，使我国LED产业难以维持竞争优势。MOCVD磊晶需具备多方面知识备景，同时MOCVD参数多样将影响 Run机成果，本课程介绍MOCVD磊晶设备原理，同时介绍目前业界对 LED于磊晶可能面临相关问题，及磊晶设备技术发展趋势作一探讨。对于目前三大MOCVD设备厂家(Aixtron、VEECO、Nippon Sanso) 之反应室设计、气体引入设计、基板加热与转动设计、系统及基板传送设计、气体流量控制设计、检测设备等分类进行设备专利地图分析，另外也对于各种不同MOCVD设备作说明

讲师介绍

王副组长---工研院机械所固态光源机械技术部经理兼组研发经理

黄博士---工研院固态光源机械技术部工程师